原位加热样品台

更新时间：2020/10/12 14:56:16信息编号：2056-1282048

所属分类：
所在区域：: 玉林　北流
详细地址：: 原位加热样品台
联系人：: 说呢
电　　话：: 15865984915

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详细介绍

原位程序升温反应系统小+生+活+网是在标准样品台基础上搭建四电极反馈控温的加热模块,在扫描电镜中实现样品的气氛、液氛环境及固体样品高分辨成像和精准、均匀、安全控温,温度精度优于±0.1k,z高温度1000℃。通过精确的热场模拟及独特的芯片设计,实现无漂移加热过程,可在加热升温过程中实现实时观测成像。样品台上的原位芯片采用特殊的组装和密封方式与电镜的真空阻隔,避免电镜受到污染和损坏。

独特优势 :
1.超高分辨率
a.超薄氮化硅膜(25-50nm)
b.分辨率优于10nm 精确度、
2.灵敏度高
a.四电极形成反馈控制系统,控温准
b.观测区域全覆盖,升温快且均匀
3.稳定好
a.科学设计,漂移率最小化
b.样品台与芯片匹配良好,芯片不漂移

原位程序升温反应系统参数指标表:

样品台尺寸	φ50×50mm
温度范围	rt~1000℃
适用样品	静态&流体气、液环境,固体来源www.xbaixing.com
气体压强	0-2000mbar
分辨率	优于10nm
窗口膜厚	25~50nm
液体池厚度	200~2000nm小~生~活~网
温度精度	±0.1k
加热均匀	≥99.5%
加热电极数	4
安全	100%www.xbaixing.com小生活网
漂移率	<0.5nm/min
旋转角度	±180°
适用电镜	zeiss,fei,jeol,hitachi,others
inlens/ebsd	√小生活网www.xbaixing.com
eds/wds	√